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复旦-诺发互连研究中心将赞助最佳研究生论文竞赛博鱼平台

类别:行业资讯   发布时间:2023-12-30 08:44:45   浏览:

  博鱼app网页版登录诺发系统宣布举办第一届复旦-诺发国际铜互连技术研讨会最佳研究生论文竞赛。

  由复旦-诺发互连研究中心赞助的最佳研究生论文竞赛将在复旦-诺发国际铜互连技术研讨会期间举行,此项每年春季举行的竞赛将为在校研究生、研究人员以及全球半导体专业人士提供一个讨论新型的、令人振奋的半导体制造技术的平台。同时,此次竞赛也标志着该研讨会将进入第五届。

  复旦-诺发互连研究中心此次举办的2008 年研讨会最佳研究生论文竞赛的参赛领域包括:

  ·面向45nm及以下技术节点的PVD/CVD/ALD扩散阻挡层和铜籽晶层;

  ·干法工艺(沟槽结构和双镶嵌工艺,干法刻蚀工艺,等离子体造成的损伤,等)

  ·先进介质材料(低介电常数介质,高介电常数介质,抗反射薄膜等)以及薄膜淀积工艺进展;

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